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第五百六十四章 打破瓦森纳协定的封锁

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p;尼康作为科技巨头,想的办法也很简单,直接换用157纳米的F2激光,这样就能解决问题了。

    而为了对抗尼康成立的EUV LLC联盟则押注更激进的极紫外技术,将光源切换成十几纳米的极紫外光,这样不仅仅能解决现有的问题,还能一直用到以后,刻十纳米以下的芯片制程都没问题。

    但是,这两种技术都不容易,都面临着技术难关,这就是九十年代最出名的193纳米关卡!

    凡是遇到难关的时候,总是有天才出现的,现在也不例外,一个名叫林本坚的鬼才工程师出现了。

    当光线透过水之后,频率不变,但是波长会发生变化,这就是水的折射率,所以,只要在光刻机的光源和硅片之间加一层水,让原本的193纳米的激光发生一次折射,不就能大大地降低了吗?

    简单计算就能知道,波长会降低到132纳米!

    这样,不仅仅能降低了光刻机的波长,刻蚀更加精密的电路,而且,对机器的改动还最小!

    以前的就叫做干刻法,现在可以叫做湿刻法了!

    林本坚提出来了这项技术,兴致勃勃地跑出去推销,但是,全部都吃了闭门羹!

    美国、德国、日本,一个个的光刻机巨头,面对着这个说法都是嗤之以鼻:在精密的机器中加入水,成为一个浸润环境,就不怕水漏了吗?短期来看,这个办法可能会成功,但是长期来看,根本就是在走弯路!

    尤其是巨头尼康,决定在157纳米的光源上研究,根本就不搭理林本坚这种歪门邪道。

    就像是数码相机一样,当年柯达首先研制出来数码相机,但是害怕因此威胁到胶片的生意,所以他们采用的办法就是将数码相机藏起来,不让别人知道!

    尼康在157纳米的道路上走到黑,而此时名不经传的阿斯麦却注意到了这个弯道超车的机会,对他们来说,这是一个迅速追赶世界先进水平的机会!

    所以,他们接受了林本坚的技术,研发起来了浸润式光刻机,不过,这已经是03年的事情了,仅仅一年的时间,也就是04年,他们就制造出来了样机,然后迅速拿下了IBM和台积电等等大客户的订单。

    尼康仅仅晚了不到一年的时间,把自己的是157纳米激光的干式光刻机技术弄成功了,但是,客户却不要了!一代巨头尼康就这样衰落了,而阿斯麦从此成为了光刻机行业的老大。

    这段历史,对于秦涛这个造船工程师,也是有所耳闻的,所以现在,他如果想要弯道超车的话,那当然就是选择对技术路线了!

    只有三十多人的阿斯麦都能做到,拥有雄厚财力的明州集团,难道还做不到这种事情吗?

    什么技术封锁,狗屁!到以后,明州集团的光刻机会成为阿斯麦一样的存在,全世界的巨头都得上赶着过来求购!

    第二天。

    清华大学,精密仪器系会议室。

    “秦总,我们就知道,你们明州集团既然已经涉足了芯片领域,那就总有一天,会需要我们自己生产的加工设备的。”年过半百的负责人徐端义兴奋地说道:“接到了您的消息之后,我们激动得一晚上都没有睡着。”

    国内搞光刻机也是有基础的,清华大学就是其中之一,他们的精密仪器系就是专业对口的,当年,为了搞国产的光刻机,他们曾经举行过大会战,在71年研制出中国第一台光刻机和分步重复照相机,并投入规模生产,供应全国半导体行业使用。前几年则是进一步研制了第三代“自动对准分步投影光刻机”,这款光刻机其实已经达到了世界先进水平,国际上的同行还曾经纷纷前来观摩学习,可惜当时没有任何的知识产权的概念,他们是知无不言言无不尽。

    结果,技术都被国外同行学去了,他们生产的光刻机却没有客户使用,之后几年,他们也放弃了光刻机的研发。

    徐端义是国内搞光刻机的领军人,心中是非常痛苦的,现在,终于迎来了好消息,秦总要投资搞光刻机了!

    “我想知道,如果我们搞光刻机,能不能达到世界一流水平,以后我们自己就可以生产,哪怕被国外封锁都不怕?”秦涛也是单刀直入,毕竟他对这个行业不是特别熟悉。

    “秦总,光刻机说起来很高大上,但是实际上,它主要由三部分组成。”徐端义介绍起来:“它需要全球顶级的光源,也就是专门的激光系统;还需要高精度的镜头,以及精密仪器制造技术。在这三个领域里,我们能解决最后一个,这是我们系的专长,但是,前两个系统就难了。”

    阿斯麦在后世很牛,是世界上最强的光刻机巨头,但是,它也不过就是个总装厂,各种零件走的都是全球合作的道路,比如说镜头来自德国的蔡司,光源来自美国企业Cymer。

    “对啊,尤其是激光的光源,目前在全世界的光刻机生产厂的面前,都摆着193纳米激光光源的技术鸿沟,我们想要研制世界先进水平的光刻机,还得解决这个难题。”一旁的系主任开口说道。

    虽然已经放弃了光刻机的研发,但是,众人还是关注这个行业的,秦总提出了这个想法之后,他们更是连夜收集了各种资料。

    此时,他们必须要把各种困难都摆在眼前,告诉秦总这个行业有多难。

    “你们听说过湿刻法吗?或者叫做浸润法?”秦涛提出了这条技术路线。

    “秦总,这个方法并不是主流的,属于旁门左道,就算是解决了现在的193纳米光源的问题,也无法继续解决以后的问题,毕竟芯片制程需要不断的更新。”徐端义说道。

    这也是几乎整个光刻机领域的工程师对林本坚的看法了,你这纯粹就是歪门邪道啊!

    “但是,这种方式更有可能以小博大。”秦涛说道:“各位,不知道你们想过没有,就算是以后有了更先进的光源,但是照样会遇到制程问题,而这种方法还能继续使用啊!”

    就拿尼康孜孜不倦地钻研的157纳米的光源相比,如果再借助这种湿刻法,那光源一下子就降低到100纳米以下了啊!

    “秦总,您认为这条路可行?”徐端义认真地问道。

    “没错,我们先不用考虑后期的问题,我们首先要考虑的就是如何在短期内达到世界主流水平,我们已经不可能从国外获得先进的光刻机了,但是我们的芯片产业不能崩,我们的龙芯一旦无法继续发展下去,那很可能会被市场淘汰,我们不可能交给别人代工,所以我们必须要有先进的光刻机,不管是什么技术路线,是否走旁门左道。大领导有句话说得很好,不管是白猫黑猫,抓住老鼠就是好猫。”

    徐端义点头:“秦总,我理解您的紧迫性,如果要是使用这种技术的话,那就能使用我们现有的193纳米的光源,我们需要的镜头,可以请华亭光学仪器厂帮忙打磨,我们还真能继续向前走一大步,不过…”

    “不过什么?”秦涛问道。

    “首先,研发先进的光刻机需要大量的资金作为后盾。”徐端义说道:“现在,国家并没有相关的研发资金,如果我们要自筹资金研发的话,预计要投入数亿。”

    “资金方面不是问题。”秦涛说道:“按照我的设想,我们明州集团会成立一个专门的微电子装备有限公司,专门研制芯片的各种装备。如果你们大学愿意的话,我希望能将曾经的光刻机研发团队全部都抽调过来,加入我们公司。我们的合作模式可以再详谈,如果研发人员还归属于你们大学编制的话,那你们可以靠这些人员占百分之二十的股份。”

    徐端义睁大了眼睛:“秦总,您真是太康慨了,如果只是出人手,就能占百分之二十股份的话,那我们沾了你们明州集团很大的光啊。”

    这些科研团队,原本都已经解散了,他们的心中是郁闷的,现在,重新组建起来公司,专门从事他们最想从事的事业,哪怕不给钱,哪怕让他们从大学辞职,他们都认了。

    能给大学百分之二十的股份,他们占了大便宜啊。

    明州集团就是财大气粗啊!

    秦涛有能力做这些事情,那就没什么说的,放心大胆的去做了!明州集团曾经投入大笔的资金搞芯片,现在,芯片产业已经开始盈利了,不管是内存,还是处理器,明州集团的产品已经成为了国内追捧的产品。

    在装机市场上,很多人都指明了要龙芯处理器!很多游戏只有龙芯处理器能玩!英特尔已经被边缘化了,更不用说AMD了。

    但是,人无远虑必有近忧,如果芯片产业无法升级,在那个该死的协议的打压下,他们无法继续进步的话,那以后就会被市场淘汰。既然从外界难以得到,那就干脆自己搞定!
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